一、采购人：松山湖材料实验室

二、采购项目编号：441900-201905-0099990033-0015

三、采购项目名称：原子层沉积镀膜设备

四、采购项目预算金额（元）：3,900,000.00

五、拟采购的货物或者服务的说明：
一、原子层沉积系统ALD设备的技术要求 1. ★反应腔工艺生长厚度区间：满足2-10nm均可实现； 2. ★反应源（三甲基铝TMA）消耗量：生产厚度6nm条件下，消耗量≤4g/千片； 3. ★反应腔沉积膜厚均匀性：批次间均匀性≤+/-4%，批次内均匀性≤+/-5%，单片硅片内均匀性≤+/-5%; 4. ★生产能力（8nm膜厚工艺条件）：≥500片/小时； 5. ★反应腔破片率≤0.05%； 6. ★反应腔镀膜绕镀≤0.5mm； 7. 生长台适用的样品尺寸：158.75mm*158.75mm单晶/多晶硅片 8. 反应腔材料：不锈钢； 9. 反应腔是双层水冷构造 10. 反应腔工作压力范围：3-10mbar可调 11. 反应腔体真空度：无流气抽真空0.5小时底压< 0.3mbar 12. 危险化学品供气管道漏率：< 5.0 x 10- 9 mbar.l/sec. 13. 设备安全：设备自身具备必要的电气安全保护、防机械运动损坏、防真空损坏、防高温损坏、危化学品安全侦测及互锁机制等自我保护安全互锁机制； 14. 反应气流量控制精度：偏差<1% 15. 反应源温度控制精度：偏差<+/-2℃ 16. 反应腔具有不少于三个温度侦测通道 17. 反应腔温度控制精度：室温至300℃，稳态时温度设定值与反馈值偏差<+/-5℃ 18. 预热腔体配备红外测温计，测温范围：20-600 ℃ 19. 可通过电脑自动控制设备，完成一个独立的工艺实验 20. 能够实时监控水流量、真空腔、及传感器的工作状态 21. 供电电压:三相400 V ± 10% 22. 验收条件1：反应腔工艺生长厚度区间：满足2-10nm均可实现； 23. 验收条件2：反应源（三甲基铝TMA）消耗量：生产厚度6nm条件下，消耗量≤4g/千片； 24. 验收条件3：反应腔沉积膜厚均匀性：批次间均匀性≤+/-4%，批次内均匀性≤+/-5%，单片硅片内均匀性≤+/-5%； 25. 验收条件4：反应腔镀膜绕镀≤0.5mm； 26. 验收条件5：生产能力（8nm膜厚工艺条件）：≥500片/小时（不包含手动上下料时间）； 27. ★TMA气源由独立气源柜供应。二、商务要求 1. ★完工期：合同签订后90天内交货安装调试完成。 2. ★付款方式： 1）合同签订及递交设备清单后15个工作日内预付30%货款； 2）经采购人确认，设备到货后付50%货款； 3）中标人交货并经采购人验收合格，办理完验收手续后15个工作日内一次性向中标人支付中标价的10%验收款，10%质保款于质保期满后5个工作日内支付。 3. ★质保要求：整机保修18个月。 4. ★售后服务：随本项目设备赠送5万元额度备件供采购人选购，能够提供国内售后服务，两个工作日内响应，五个工作日提出解决方案，如果采购人需要，可派遣技术支持工程师到现场指导、配合工作。

六、采用单一来源采购方式的原因及相关说明：
1、松山湖材料实验室原子层沉积镀膜设备于2019年03月22日与2019年4月28日在公开媒体上进行公开招标，因两次公开招标到项目投标截止时间止只有理想晶延半导体设备（上海）有限公司参与投标，由于实质性响应招标文件的投标人不足3家，根据《中华人民共和国政府采购法》第三十六条规定,实质性响应招标文件要求的供应商不足3家,两次公开招标失败。2、由于本项目时间紧任务紧迫，只有理想晶延半导体设备（上海）有限公司响应原子层沉积镀膜设备的招标文件内容。基于以上考虑，根据《政府采购法》第三十一条符合下列情形之一的货物或者服务，可以依照本法采用单一来源方式采购：（一）只能从唯一供应商处采购的。本项目拟采用单一来源采购方式，现根据相关法律法规的要求，进行单一来源采购征求意见公示。

七、拟定的唯一供应商名称、地址：

包号	供应商	供应商地址
A包	理想晶延半导体设备（上海）有限公司	上海市松江区思贤路3255号3号楼B幢4楼

八、专家论证意见：
（一）各专家对相关供应商因专利、专有技术等原因具有唯一性的具体论证意见，专家的姓名、工作单位和职称：
           方清华（广东鸿翔工程检测咨询公司），付艳平（东莞市友安机电安装有限公司），陈云鹏（东莞市市政园林管理中心）

（二）专家小组综合意见：
           论证委员会一致认为理想晶延半导体设备（上海）有限公司作为原子层沉积镀膜设备的唯一供应商。

九、本公示期限（不得少于5个工作日）自2019年06月14日 至2019年06月21日止。。

十、联系事项

（一）	采购项目联系人（代理机构）：翟润膺	联系电话：0769-88839111
	采购项目联系人（采购人）：陈小姐	联系电话：0769-89136773
（二）	采购代理机构：东莞市粤隆招标有限公司	地址：东莞市南城街道体育路2号鸿禧中心B902号
	联系人：翟先生	联系电话：0769-88839111
	传真：0769-81216222	邮编：523000
（三）	采购人：松山湖材料实验室	地址：东莞市松山湖大学创新城A1栋
	联系人：陈小姐	联系电话：0769-89136773
	传真：/	邮编：523000
（四）	财政部门：政府采购监管科	地址：东莞市南城鸿福路99号
	联系人：政府采购监管科	联系电话：22831131/22831025/22831132