一、采购人：松山湖材料实验室
二、采购项目编号：441900-201812-0099990033-0009
三、采购项目名称：等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）
四、采购项目预算金额(元)：2,850,000.00
五、拟采购的货物或者服务的说明：
一、等离子体增强化学气相淀积（PECVD）和低压化学气相淀积(LPCVD）一体设备的技术要求
1.  ★管数：PECVD 2管,LPCVD 2管；PECVD与LPCVD集成于同一个台设备，
2.  装片规格：156mm方片，最大兼容168mm方片；（厚度150~210μm）；
3.  单管装片量：PECVD≥416片/批；LPCVD≥800片/批；
4.  成膜类型：PECVD 氮化硅，LPCVD 多晶硅、掺杂多晶硅、SiOx；
5.  ★成膜厚均匀性：PECVD 片内≤3％、片间≤3％、批间≤2％；
LPCVD片内≤5％、片间≤5％、批间≤3％；
6.  ★PECVD成膜折射率均匀性：片内≤1.5％、片间≤1.5％、批间≤1.5％ ；
7.  ★控温范围：  PECVD：350～580℃，LPCVD：400～1000℃；
8.  ★长期使用温度范围：PECVD：400～550℃，LPCVD：550～650℃；
9.  ★恒温区长度及精度：±2℃/1600mm(450℃时)，±1℃/1600mm(650℃时)；
10.★单点稳定性：±1℃/4h(450℃时)；
11. 升温速率：RT→400℃≤25min；
12.★控压范围：220 Pa±40 Pa（闭环控制）；
13.★极限真空度：≤1 Pa；
14. 恢复真空时间：AP→3 Pa＜3min；
15.★漏气率指标：＜1Pa /min；
16. 管路特性和连接方式：316L电化学内抛光管道、全VCR焊接；
17.★气密性：漏率≤1×10^-7pa.m3/s；
18. 水平推舟速度：1～10000mm/min 连续可调；
19.★设备尺寸：长度≤8000mm，宽度≤2200mm，高度≤2750 mm；
二、商务要求
1. ★完工期：合同签订后90天内交货安装调试完成。
2. ★付款方式：
1）合同签订并递交设备清单后15个工作日内支付25%货款；
2）设备到货后经采购人确认，支付15%货款；
3）设备安装调试后经采购人验收合格，办理完验收手续后15个工作日内一次性向中标人支付中标价的50%货款。
3. 质保要求：整机保修一年，质保期满后支付10%质保款；
4. 售后服务：能够提供国内售后服务，两个工作日内响应,五个工作日提出解决方案，如果采购人需要，可派遣技术支持工程师到现场指导、配合工作。
六、采用单一来源采购方式的原因及相关说明：
等离子体增强化学气相淀积（PECVD）和低压化学气相淀积(LPCVD）一体设备主要用于高效太阳能电池的研究，该设备能够完成PERC电池正膜和背膜的镀膜工艺，能完成TOPcon电池的SiOx/polySi薄膜工艺。目前中国电子科技集团公司第四十八研究所是国内唯一一家能够同时在PERC电池和TOPcon电池领域具有成熟设备投入市场或者通过工艺验证的设备生产企业。基于以上考虑，根据《政府采购法》第三十一条符合下列情形之一的货物或者服务，可以依照本法采用单一来源方式采购：（一）只能从唯一供应商处采购的。本项目拟采用单一来源采购方式，现根据相关法律法规的要求，进行单一来源采购征求意见公示。
七、拟定的唯一供应商名称、地址：
中国电子科技集团公司第四十八研究所、地址：湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
八、专家论证意见：
（一）各专家对相关供应商因专利、专有技术等原因具有唯一性的具体论证意见，专家的姓名、工作单位和职称：
王立莉、清华大学，副研究员；薛春来、中国科学院半导体研究所，研究员；成步文、中国科学院半导体研究所，研究员。
（二）专家小组综合意见：
论证委员会一致认为中国电子科技集团公司第四十八研究所作为等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）的唯一供应商。
九、本公示期限自2018年12月25日 至 2018年01月02日 止
十、联系事项
（一）采购人：松山湖材料实验室  地址: 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋
联系人：陈小姐   联系电话: 0769-89136773
（二）采购代理机构：东莞市粤隆招标有限公司 地址: 广东省东莞市南城街道体育路2号鸿禧中心B902号
联系人：翟润膺   联系电话: 0769-88839111
（三）财政部门：政府采购监管科 地址：东莞市南城鸿福路99号行政中心主楼12楼29室
联系人：政府采购监管科 联系电话：22831131/22831015/22831132