大尺寸单晶CVD生长系统(采购方式意见征集公告) 单一来源公示

作者:admin 来源:未知 点击数: 发布时间:2018年11月14日
一、采购人:松山湖材料实验室

二、采购项目编号:441900-201811-0099990033-0004

三、采购项目名称:大尺寸单晶CVD生长系统

四、采购项目预算金额(元):2,500,000.00

五、拟采购的货物或者服务的说明:
一、大尺寸单晶CVD生长系统的技术要求
1.   ★计算机自动控制,系统内置大尺寸二维轻元素单晶的生长参数
2.   生长温度范围:室温~1100℃
3.   控温精度:+/-1℃
4.   ★ 衬底单次进样量:>10,000cm2
5.   ★ 二维晶体(例如石墨烯)覆盖率:>99%
6.   ★ 二维晶体(例如石墨烯)单层率:>90%
7.   ★ 二维晶体(例如石墨烯)单晶尺寸:>10 x10cm
8.   ★ 10x10cm大单晶产量:>1000片/月
9.   设备分为生长腔、进样腔、出样腔
10.  生长腔内尺寸:≥Φ200mm×1200mm;
11.  进样腔内尺寸:≥Φ220mm×1100mm;
12.  出样腔内尺寸:≥Φ220mm×1100mm;
13.  ★进样腔出样腔腔体材质均为316不锈钢
14.  生长腔配备5路气体
15.  进样腔出样腔各配备3路气体
16.  流量计精度:流量小于最大量程35%时,控制精度<0.35%;流量大于最大量程35%时,控制精度<1%
17.  气压范围:1Pa – 1.5大气压
18.  各腔体均配备电子真空计和机械压力表
19.  真空计精度:0.1Pa
20.  各腔体均配备自动与机械双重泄压安全阀
21.  ★ 生长腔可连续运行,进出样品无需降至600℃以下,保证连续生长
22.  样品传送杆耐高温:>1100摄氏度
23.  传送杆行程:≥6m
24.  腔体间配备自动闸板阀
25.  闸板阀配备防障碍物安全防护监控
26.  进出样腔及连接法兰配备水冷保护装置
27.  进出样品平滑无振动(需配备相应的进出样辅助工具)
28.  生长腔运动相关密封件带反馈信号
29.  生长腔的整个生产过程达到全自动化
30.  设备根据不同故障,具有相应的安全处理机制
31.  计算机具有生产控制功能、用户管理功能、数据存储功能、数据查询功能
32.  总功耗<40kW
二、商务要求
★1.完工期:合同签订后10周内交货安装调试完成。
★2.付款方式:
1)合同签订并提交货物清单表后15个工作日内支付20%货款;
2)设备交货经采购人验收合格,并平稳运行2个月后,一次性向中标人支付中标价的80%尾款。
★3. 如果设备达不到上述技术参数要求,中标人需赔付采购人的损失,并终止合同。
4. 质保要求:整机保修一年
5. 售后服务:能够提供国内售后服务,要求提供5×8小时电话技术支持;接到采购人电话咨询的1工作小时内,作出响应,并随时与客户联系,并在两个工作日内提供解决方案,五个工作日内解决问题,如果采购人需要,可派遣技术支持工程师到现场指导、配合工作。

六、采用单一来源采购方式的原因及相关说明:
1、松山湖材料实验室于2018年10月09日第一次公开招标大尺寸单晶CVD生长系统,到项目投标截止时间止只有沃根瑞特科技(北京)有限公司参与投标,由于实质性响应招标文件的投标人不足3家,根据《中华人民共和国政府采购法》第三十六条规定,实质性响应招标文件要求的供应商不足3家,本次公开招标失败。2、由于本项目时间紧任务紧迫,只有沃根瑞特科技(北京)有限公司响应大尺寸单晶CVD生长系统的招标文件内容。基于以上考虑,根据《政府采购法》第三十一条符合下列情形之一的货物或者服务,可以依照本法采用单一来源方式采购:(一)只能从唯一供应商处采购的。本项目拟采用单一来源采购方式,现根据相关法律法规的要求,进行单一来源采购征求意见公示。

七、拟定的唯一供应商名称、地址:
沃根瑞特科技(北京)有限公司、地址:北京市海淀区马甸东路19号26层3006

八、专家论证意见:
论证委员会一致认为招标文件不存在倾向性、歧视性条款,推荐沃根瑞特科技(北京)有限公司作为大尺寸单晶CVD生长系统的唯一供应商。

九、本公示期限自2018年11月14日 至 2018年11月21日 止

十、联系事项
(一)采购人:松山湖材料实验室  地址: 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋
            联系人:陈小姐   联系电话: 0769-89136773
(二)采购代理机构:东莞市粤隆招标有限公司 地址: 广东省东莞市南城街道体育路2号鸿禧中心B902号
            联系人:翟润膺   联系电话: 0769-88839111
(三)财政部门:政府采购监管科 地址:东莞市南城鸿福路99号行政中心主楼12楼29室
            联系人:政府采购监管科 联系电话:22831131/22831015/22831132
 
东莞市粤隆招标有限公司
时间: 2018年11月14日
(编辑:admin)