一、采购人：北京大学东莞光电研究院
二、采购项目编号：441900-1-201807-0199988-0003
三、采购项目名称：微波等离子化学气相沉积系统
四、采购项目预算金额(元)：3,600,000.00
五、拟采购的货物或者服务的说明：  

具体技术要求	序号	目录	招标技术要求
	1	微波等离子体化学气相沉积系统（计算机程序全自动控制）	1.1 5kW（2.45GHz）低纹波微波源（3相400V± 10%），磁控管功率6kW。
			1.2微波手动调节器。
			1.3微波环形器, 等效载荷和微波波导装置。
			1.4 微波发生器输出功率5 kW时，实时微波泄漏≤ 2 mW/cm2。
			★1.5双层水冷不锈钢反应腔，反应腔工作压力范围：10-200 Torr。
			1.6 反应腔具有不少于两个ICF070观察口，不少于三个ICF034测温窗口
			1.7系统真空密封性 < 1.0 × 10-9 Torr/sec（用氦质谱检漏仪测试）。
			1.8可垂直移动的水冷样品台。
			1.9样品台材质为金属钼，尺寸（直径）：≥4英寸。
			1.10样品托为（直径）≥2英寸的钼盘。
			1.11可制备的样品尺寸（直径）：≥2英寸。
			1.12 气体分配器，含4路反应气体输送系统，4路气体及质量流量计量程如下：H2/CH4/O2/N2：1000/200/20/20 sccm，并保留以后扩展至6路反应气体的能力。
			1.13压力控制器/电容式真空计。
			1.14机械泵，带吸/滤油雾器。
			1.15双波长红外高温计：高温计及光纤，测温范围约475 oC至1475 oC。
			1.16可通过电脑自动控制设备，完成一个独立的实验。
			1.17系统控制电脑配Win7操作系统。
			1.18能够实时监控微波输出功率及其反射功率值，如果反射功率过大，设备会自动保护，防止损坏设备。
			1.19能够实时监控水流量、真空腔、及传感器的工作状态。
			1.20设备柜体内配备配电箱、保险装置、报警单元和紧急关机功能。
			1.21设备维护工具箱。
			1.22滤水器和增压泵。
			1.23 备件：钼样品托6个、微波窗口1个、微波窗口金属密封垫圈5个、反应室门密封圈10个。
	2	分子泵	2.1类型：101 mm (4英寸) 分子泵。
			2.2抽气速率≥340 l/sec (N2), ≥270 l/sec (H2)。
			2.3本底真空: < 5 x 10-7 Torr (6.7 x 10-5 Pa)。
			2.4配件：4寸超高真空闸门阀, 高真空计(B-A型)。
	3	微波检漏仪	3.1频率：2450 MHz。
			3.2最大功率密度：2 W/cm2。
			3.3量测范围：0-2,0-10,0-100 mW/cm2（三量程档）。
			3.4精度：±1 dB。
			3.5反应时间：快速1秒，慢速2.5秒（90％水平）。
	4	验收条件	4.1 多晶金刚石：在2英寸Si片上多晶生长测试8小时，生长速度≥10 mg/h，测试样品拉曼光谱FWHM<5 cm-1，厂家提供生长用的Si衬底。 厚度均匀性指标: +/-15%（除去边缘3 mm）
			★4.2 单晶金刚石：单晶同质外延生长测试24小时，生长速度≥10 um/h，厂家提供生长用的单晶晶种。

 六、采用单一来源采购方式的原因及相关说明：1、北京大学东莞光电研究院于2018年4月17日第一次公开招标微波等离子化学气相沉积系统（MPCVD），结果失败。微波等离子化学气相沉积系统（MPCVD）是北京大学东莞光电研究院重点项目里的核心设备。 2、此设备部份费用预算到期时间为2018年10月1日，时间非常紧迫。 3、本项目已完成进口产品清单公示。 4、微波等离子化学气相沉积系统（MPCVD), 通过等离子增加前驱体的反应速率，降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶体。单晶的生长时间相对比较长，单次试验整个过程可能需要7-10天，甚至更长，如果此试验过程中设备出现故障，那么整个实验需要重新进行，造成时间和试验成本的浪费，这些对研发工作都是巨大的损失。实验要求的金刚石材料应具有高纯度、大面积（晶片级）、均匀性好、性能优异等特点，在目前主流的制备方法中微波等离体化学气相沉积方法（MPCVD）是最佳制备途径，而该方法中关键技术是微波耦合技术及其稳定性，其微波源漏损量应低于2mW/cm^2，同时微波源还应高频且可调谐以满足不同实验要求；另外系统真空密封性也非常重要。基于采购人项目组技术人员的能力范围内，经过广泛调研，采购人认为能够满足其科研实验要求的微波等离子体化学气相沉积系统只有日本CORNES公司。基于以上考虑，根据《政府采购法》第三十一条符合下列情形之一的货物或者服务，可以依照本法采用单一来源方式采购：（一）只能从唯一供应商处采购的。本项目拟采用单一来源采购方式，现根据相关法律法规的要求，进行单一来源采购征求意见公示。
 
七、拟定的唯一供应商名称、地址：

包号	供应商	供应商地址
A	科电贸易（上海）有限公司	中国（上海）自由贸易试验区基隆路55号6层B03室

 
八、专家论证意见：
 
论证委员会一致推荐科电贸易（上海）有限公司作为微波等离子化学气相沉积系统的唯一供应商。
 
九、本公示期限自2018年07月09日 至 2018年07月16日 止

十、联系事项
（一）采购人：北京大学东莞光电研究院 地址: 广东省东莞市松山湖沁园路17号  
            联系人： 丁博士 联系电话: 0769- 22898028
 
（二）采购代理机构：东莞市粤隆招标有限公司
            地址: 东莞市南城街道体育路2号鸿禧中心B902号
            联系人： 莫小姐 联系电话: 0769-88839111
 
（三）财政部门：政府采购监管科 地址：东莞市南城鸿福路99号行政中心主楼12楼29室
            联系人：政府采购监管科 联系电话：22831131/22831015/22831132